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勻膠旋涂?jī)xM-SPIN 200是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂?jī)x適用于直徑大為8英寸的晶圓片，或大為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動(dòng)工作，分配移動(dòng)托盤(pán)，可定義數(shù)量。該勻膠旋涂?jī)x配備了頂蓋的聯(lián)鎖機(jī)制，和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂?jī)x包含一個(gè)內(nèi)置模塊，該模塊連接到柔性電纜，外接到一個(gè)19英寸外部控件上。

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